系统参数：

1．OZL-G (632.8nm/25mW/TEM₀₀横模/单一纵模) 激光光源

2．OpticZenith BX-III扩束器

3．CM-200高精度非球面准直器 (面型λ/20, HT>99%@632.8nm)

4．CHT-150光刻（物）一位光栅

5．OZFR-200傅里叶变换透镜

6．OZPS空间滤波器

7．DSS二维空间图像动态光子采集器

8. 监视器